微型精密电动平移台

LPC系列

15-70

40×40

-80×175

0.625-1.25um@8细分

10-20mm/s

≤1um

5-30kG@水平

直线电机平移台

LMT系列

200-400

220×250

1um

1000mm/s

≤±1um

30kG@水平

超高精密电动平移台

UST系列

50-200

245×180

295×180

400×180

0.1um

40mm/s

≤±1um

30kG@水平

高精密电动平移台

HST系列

50-400

120×120

1um@闭环
2.5-3.125um@8细分,开环

40-50mm/s

≤3um

30-50kG

伺服精密电动平移台

HST系列

50-400

120×120

0.4um/0.5um

200-250mm/s

≤3um

20-30kG@水平

精密电动平移台

PST系列

50-1000

125×125

/200×200

2.5um/3.125um@8细分

40-50mm/s

≤3um

30-50kG@水平

薄型电动平移台

LSC系列

30-50

90×90/

90×110

0.625um@8细分

10mm/s

≤3um

10kG@水平

整体二维电动平移台

XYW系列

50×50/120×120

125×125/280×280

0.625um@8细分

10mm/s

≤1-3um@

5-20kG@水平

高精密电动升降台

HST系列

50-400

120×120

1um@闭环
2.5-3.125um@8细分,开环

40-50mm/s

≤3um

5-10kG@中心

精密电动升降台

PST系列

50-1000

125×125/200×200

2.5-3.125um@8细分

40-50mm/s

≤3um

5-10kG@中心

高精密电动升降台

HST系列

8-30

60×60

/120×120

/220×220

0.23-0.625um@8细分

5-6.5mm/s

≤3-5um

4-20kG@中心

重载型电动升降台

PSTV系列

50-400

240×240

0.78um@8细分

12.5mm/s

≤20-50um

200kG@中心

直驱电机
旋转台

DDM170-050

170

360°

0.0002°

450rpm

≤±30Arc sec

≤±2Arc sec

2000N

60N.m

高精密电
动旋转台

PRT系列

60-300

180:1

/320:1

1.25-7nm

@8细分

11-20°/s

≤0.005°

/≤0.003°

5-100kG@中心

精密电动
摆动台

PGT系列

±5-±45°

60×60

-120×180

252：1

-450：1

0.0005°-0.0008°

@8细分

≤0.007°

/≤0.005°

7°-11°/s

 5-20kG